主要内容
短波红外探测广泛应用于航天遥感、微光夜视、医疗诊断、农业工业、安全监控等领域。基于III-V族InP/InGaAs材料体系短波红外InGaAs探测器，具高探测率、高均匀性、高稳定性等特点，是发展小型化、低功耗和高可靠性短波红外光电系统的理想选择之一。我国自主研制的短波红外InGaAs焦平面探测器已经进入了航天工程应用中，至今在轨稳定运行两年多，在对地观测、气象预报中发挥了重要作用。文中综述了十余年来，中国科学院上海技术物理研究所短波红外InGaAs焦平面探测器研究进展，内容包括：常规波长0.9～1.7μm近红外InGaAs焦平面探测器；延伸波长短波红外InGaAs焦平面探测器以及InGaAs新结构探测器探索研究。
图1中国科学院上海技术物理研究所1.7μm近红外InGaAs焦平面探测器组件及成像图片
研究进展
文中介绍了中国科学院上海技术物理研究所在短波红外InGaAs探测器方面的研究进展，解决了大面积材料均匀性、器件量子效率、暗电流以及噪声等多项关键技术，推进了该类焦平面向高性能、系列化方向发展及其在航天工程中的应用。在常规波长(0.9～1.7μm)InGaAs焦平面方面，焦平面规格达到×元，室温暗电流密度优于5nA/cm^2，室温峰值探测率优于5×10^12cm·Hz^(1/2)/W。
在延伸波长(1.0～2.5μm)InGaAs探测器方面，规模达到×元，暗电流密度优于10nA/cm^2和峰值探测率优于5×10^11cm·Hz^(1/2)/W
K。在新型多功能InGaAs探测器方面，发展了微纳结构集成的宽谱段响应的InGaAs探测器和片上集成亚波长金属光栅的InGaAs偏振探测器，消光比优于20:1，并进行了演示成像。作者简介
李雪(-)，女，研究员，博士生导师，主要从事红外探测器方面的研究。
龚海梅(-)，男，研究员，博士生导师，传感技术联合国家重点实验室副主任，主要从事航天红外传感器、紫外焦平面等新型探测组件及其抗辐射机理与可靠性技术方面研究。国家计划项目首席科学家，历年来获省部级科技奖励12项，其中国家自然科学和科技进步二等奖各1项。培养硕士、博士研究生50余名，发表学术论文百余篇，申请和获得国家专利50多项。
引用格式
LiXue,ShaoXiumei,LiTao,ChengJifeng,HuangZhangcheng,HuangSonglei,Yangbo,GuYi,MaYingjie,GongHaimei,FangJiaxiong.Developmentsofshort-waveinfraredInGaAsfocalplanedetectors[J].InfraredandLaserEngineering,,49(1):.doi:10./IRLA49.6
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